- 如果您對該產(chǎn)品感興趣的話，可以
- 產(chǎn)品名稱：SiC籽晶粘接設(shè)備
- 產(chǎn)品型號(hào)：
- 產(chǎn)品展商：燕園科技
- 產(chǎn)品文檔：無相關(guān)文檔
簡單介紹
本設(shè)備是將SiC籽晶通過有機(jī)膠粘接在石墨上。提高籽晶粘接質(zhì)量是保證高 品質(zhì)SiC晶體生長的首要前提。
產(chǎn)品描述
產(chǎn)品特點(diǎn)：
晶圓尺寸: 6-8英寸
溫度范圍: 溫度200-800℃，溫度均勻性±3℃
壓力: 極限20KN，力均勻性＜±1%
真空度: ≤10Pa
壓頭: 柔性壓頭/硬性壓頭